(주)월덱스

Fine Ceramics

제품명	Alumina(Al₂O₃)	Aluminum Nitride(AlN)	Sapphire
제품설명	고강도, 내마모성, 내열성등이 뛰어나 반도체 핵심 부품에 사용이 된다.	높은 열전도율, 전기 절연성을 가지며, 내열충격성, 내플라즈마성이 좋다.	순도높은 Al₂O₃를 정제하여 만든 소재로 Al₂O₃에 비해 높은 강도를 가진다.
적용분야	반도체 Chamber 내 핵심부품	Heat Sink, Base board, Soaking Plate for Heater	Parts for Etcher Process
제품종류	Gas Inject, Window, Ring, Arm 등	Ring, Plate, Crucible	Window, Focus Ring, Injector

제품명	Silicon Pad	YAS	Si₃N₄
제품설명	Etcher 장비 내의 열 또는 전기 도전성 매체로 사용된다.	Al₂O₃제품에 비해 내플라즈마성이 좋으며, 플라즈마에 직접적으로 노출되는 제품 표면에 YAS 소재를 Coating하여 사용한다.	높은 절기절연성, 열전도율을 가지며, Probe Card, 전력반도체 모듈, 자동차용 Invertor 모듈의 베이스가 된다.
적용분야	Etcher 장비내의 열전도 부품	반도체 Dry Etching 공정	Probe Card Guide, 전력반도체, 자동차용 Invertor
제품종류	Thermal Pad	Window, ESC EDGE RING	Si₃N₄ 기판

제품명	SiC Ring	Susceptor	SiC Boat
제품설명	Wafer 외곽에서 플라즈마를 일정하게 유지하여 식각 균일도를 유지하는 Parts	Epi 공정에서 Wafer의 박막용 Parts	공정 내 산화피막을 코팅하기 위해 다수의 wafer를 안착시켜 주는 Parts
적용분야	Etcher 공정	박막 공정	CVD 공정, Diffusion 공정 등
종류	Focus Ring, Insert Ring, Edge Ring (Hot, cool)	8” / 12” Susceptor	Baffle Boat, 8” / 12” Long Boat